菊园这家院所,再创佳绩!
第37届IEEE MEMS国际会议是该领域规模最大的国际顶级学术会议。该会议通过国际委员会评审,在900余篇投稿中共录用论文316篇,其中中国大陆占了102篇,位于菊园新区的中国科学院上海微系统所本次共入选26篇论文,位列世界第一,约占中国大陆录用论文总数的26%。
该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议,主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。

微机电系统MEMS,是当今微纳传感器制造的主流技术,通过工业技术将微电子技术与机械工程融合到一起,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
其优点是:体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等。内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统,侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域,广泛应用于高新技术产业,将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。

