两项“超越摩尔”技术成果发布！500余名行业专家与学者共聚菊园
2023年12月1日， 2023上海国际微技术研究与创新论坛（2023 SITRI DAY）暨第四届菊园科技创新论坛在菊园新区顺利举办。
本次SITRI DAY活动以“面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康”为核心宗旨，通过建设打造一个高水平的技术交流平台，促进科技创新资源的开发协同，并进一步强化上海工研院作为公共服务平台的科技创新策源功能，加快推进产业技术创新应用和成果转化，从而引领“超越摩尔”产业向中高端迈进，实现产业的高质量发展。
本次论坛采取线上线下相结合，除主论坛外，还设有MEMS技术、硅光技术、生命信息技术和投资孵化路演等四个分论坛活动。会议邀请了全球来自工业界、学术界、投资界等领域的行业专家和学者共计700余人，与其他26000余名线上产业界人士共同谋划传感器产业的升级与深化发展的长久之道。
上海市科委副主任王晔、中国科学院院士祝世宁、菊园新区党工委书记陈懿以及中国科学院上海微系统所所长、上海工研院董事长谢晓明为本次活动致辞。
嘉定区菊园新区党工委书记陈懿对本次高端活动的顺利举办表示了祝贺，并代表菊园科技创新论坛的主办单位对与会嘉宾的到来表示了欢迎，同时对于上海工研院落地菊园十载为当地传感器产业发展所带来的积极作用表示了感谢和祝福。并强调在未来的日子里，菊园新区要进一步加强对产业、平台的服务，推动创新链产业链资金链人才链深度融合，全面推动地区产业发展。
王晔副主任介绍了上海微技术工业研究院作为上海市首家研发与转化功能型平台的建设背景，以及首批15家平台的落地对上海市科创中心建设所起到的基石作用，并寄语工研院未来继续持续瞄准世界科技前沿技术，引领产业科技发展方向，肩负起历史赋予平台的重任，勇做新时代科技创新的排头兵。
祝世宁院士作为产业专家，回顾了他与工研院在硅光平台建设过程中的渊源以及双方共同创立光电子集成芯片立强论坛的种种情景，期待在未来的发展中，可以与平台在光电子领域有更多的合作与交流，双方共同推动中国光电子技术的发展，为产业的提升作出更大的贡献。
中国科学院上海微系统所所长、上海工研院董事长谢晓明与各位来宾一起回顾了工研院紧随上海市集成电路产业发展需求，探索信息领域创新机制、奠定上海研发与转化功能型平台运行模式的十年发展历程。并表示未来，上海工研院将继续探索“超越摩尔”技术研发与转化以及产业生态建设路径，充分发挥衔接科研和产业以及产业技术策源地功能，为相关企业提供高水平的技术供给和高质量的技术服务。
活动现场，两项“超越摩尔”技术成果发布，其中包括“MEMS标准工艺模块”以及“90nm硅光集成工艺”。据悉，两项成果均来与上海工研院承担的国家及市级重大专项所取得阶段性成果，可为行业中小企业提供MEMS制造和硅光子器件的标准化工艺，大幅提高产品设计效率，其技术水平均达到国际先进水平，其中硅光集成工艺器件库水平更是达到国际领先水平。
随后，“超越摩尔”集成电路生态圈战略合作伙伴代表签约仪式举行，旨在打破区域产业限制，打通长三角与粤港澳大湾区以及中部地区产业区域限制，实现从设备、芯片生产、设计到封装测试的全产业生态链布局，助力上海集成电路产业高质量发展。
活动过后，现任上海工研院总经理董业民博士作了《建设具有全球影响力的“超越摩尔”功能型创新平台》的主题报告。报告回顾了上海工研院十年以来发展的芯路历程以及取得的一些成绩，在未来的发展过程中，上海工研院将继续围绕上海集成电路一体两翼战略，聚焦超越摩尔芯片制造核心技术及产业生态，打造一个具有全球影响力的超越摩尔生态。
随后，由欧洲科学院、比利时皇家科学与艺术学院双料院士，来自比利时鲁汶大学化学系的化学系终身教授Johan Hofkens教授向大会分享了《The Power of One: From Single Molecule Investigations to Materials Research and Beyond》的主题演讲，报告探讨了单分子光谱学对应用该技术的各个领域都产生的巨大影响，从催化、等离子体学、聚合物物理学、生物物理学到细胞生物学和 DNA 测序。此外，报告中还提到了单分子技术和新显微镜模式的开发是如何推动材料科学和生物科学的发展的这一新技术的应用。
来自中国电子信息产业发展研究院、赛迪研究院集成电路研究所所长周峰随后向大会分享了《智能传感器及硅光技术行业趋势》的主题演讲，报告详细阐述了国内外智能传感器的分类、技术路线以及行业发展趋势，其中重点介绍了硅光技术在智能传感器领域的应用和未来发展趋势。
紧接着由来自TDK公司高管、地区子公司负责人张宏达博士带来了《Enriching Lives with Sensing Solutions——运用传感解决方案丰富生活》的主题演讲，报告介绍了TDK MEMS传感器的工作原理和产品特点，特别是介绍了TDK-InvenSense 专有的 CMOS-MEMS 片上系统平台使ö的优势。
主论坛最后由德国弗劳恩霍夫光电微系统研究所（Fraunhofer IPMS）的Jörg Amelung先生以及Sandro Koch博士带来的《From Concept to Production: Unleashing the Potential of MEMS-based Ultrasound》主题演讲完美收官。报告介绍了MEMS器件的进步和特定技术发展的关系，以及弗劳恩霍夫光电微系统研究所开发的基于MEMS的微机械超声换能器（MUT）所独有的特性技术等创新应用案例。
当天上午还举行了菊园科技创新论坛轮值主席交接仪式。第四届论坛主办单位中国科学院上海微系统所代表副所长俞文杰与下一届主办单位中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所代表党委副书记高妍琦完成了论坛轮值主席的交接仪式。嘉定区经委、科委、国资集团、菊园新区等单位相关领导应邀出席了活动。
当天下午，MEMS技术、硅光技术、生命信息技术分论坛和投资路演活动同时开展，各论坛集聚了20余位专家为大家带来了主题报告、圆桌论坛等技术分享活动；投资路演活动现场集聚了15家创新科技企业的创新项目和数十位投资人进行了项目对接，为项目的企业发展带来了机遇和挑战。
本次上海国际微技术研究与创新论坛活动依托上海工研院平台优势，进一步畅通了“超越摩尔”产业链上下游企业的沟通渠道，协同推动产业技术的创新应用和成果转化，同时为行业中小企业的孵化、培育和发展提供了更好的创新服务。同时扩大了上海打造集成电路“一体两翼”空间布局影响力，将吸引更多全产业链企业落户上海，加快构筑上海集成电路产业新高地。
